MENU
Banner

เทคโนโลยีฟิล์ม สปัตเตอริง

จากการที่ภาคอุตสาหกรรมในประเทศไทย มักมีอุปสรรคในการวิจัยและพัฒนา (R&D) เพื่อเพิ่มขีดความสามารถในการแข่งขันทางธุรกิจ เนื่องจากต้องลงทุนสูงและต้องอาศัยผู้เชี่ยวชาญที่มีประสบการณ์ เนคเทคจึงมุ่งมั่นที่จะเข้าไปสนับสนุนและเสริมขีดความสามารถในด้านการวิจัยและพัฒนาให้กับภาคอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้อง การเปิดตัวระบบเคลือบฟิล์มบางต้นแบบในวันนี้ เป็นผลงานของห้องปฏิบัติการวิจัยฟิล์มบางเชิงแสงที่ได้ศึกษาและพัฒนาเทคโนโลยีดังกล่าวมาเป็นระยะเวลานาน มีความรู้ความเข้าใจในการพัฒนาผลิตภัณฑ์ฟิล์มบางอย่างครบถ้วน มีอุปกรณ์และเครื่องมือพร้อมบุคลากรที่มีความชำนาญ ทั้งการออกแบบ การเคลือบ และการวิเคราะห์ ซึ่งองค์ประกอบทั้งสามอย่าง เป็นกุญแจสำคัญในความสำเร็จของการสร้างฟิล์มบาง ซึ่งเนคเทคมีความพร้อมในการให้คำปรึกษาและรับจ้างวิจัยพัฒนาฟิล์มบางต้นแบบสำหรับผลิตภัณฑ์ของอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้อง รวมไปถึงให้ใช้เครื่องมือภาคการศึกษาด้วย

thin-film

เทคโนโลยีสปัตเตอริงเป็นหนึ่งในเทคนิคการเคลือบฟิล์มบางในสุญญากาศ ที่มีความเหมาะสมที่สุดสำหรับงานวิจัยและพัฒนาผลิตภัณฑ์ฟิล์มบางชนิดต่างๆ เนื่องจากกระบวนการนี้ใช้เคลือบฟิล์มได้หลากหลายชนิด เช่น ฟิล์มโลหะ อัลลอย แก้ว เซรามิกส์ ฟิล์มสารกึ่งตัวนำ สามารถควบคุมความหนาของฟิล์มได้อย่างแม่นยำ และปรับแต่งสมบัติของฟิล์มได้อย่างกว้างขวาง กลุ่มอุตสาหกรรมในประเทศไทยที่ใช้เทคโนโลยี สปัตเตอริง ได้แก่ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ฮาร์ดดิสไดรฟ์ ยานยนต์ กระจกอาคาร ใยแก้วนำแสง และเซลล์แสงอาทิตย์ เป็นต้น ปัจจุบันอุตสาหกรรมไทยต้องพึ่งพาเทคโนโลยีสปัตเตอริงซึ่งมีราคาแพง เพราะต้องนำเข้าทั้งอุปกรณ์เครื่องเคลือบ และ เทคโนโลยีโนฮาวจากต่างประเทศ เป็นอุปสรรคต่อการพัฒนาผลิตภัณฑ์ในอุตสาหกรรมต่างๆ อีกทั้งลดทอนโอกาสการพัฒนาทรัพยากรบุคคลในหน่วยงานวิจัย และสถาบันการศึกษาในประเทศไทย

ในโครงการฯนี้ คณะผู้วิจัยได้ออกแบบ และสร้างหัวเคลือบและระบบห้องเคลือบสุญญากาศขึ้นเอง อาศัยประสบการณ์การตรงกว่า ๒๐ ปี ในงานวิจัยการเคลือบฟิล์มบางในสุญญากาศทั้งในระดับอุตสาหกรรมและห้องปฏิบัติการ เน้นการออกแบบและพัฒนาเครื่องที่มีประสิทธิภาพสูง เที่ยงตรง แม่นยำ ทำสุญญากาศได้เร็ว ดูแลรักษาง่าย ไม่ซับซ้อน รองรับการดัดแปลงตามความต้องการของผู้ใช้ได้ในระยะยาว

thin-film
thin-film
thin-film
thin-film

ทีมนักวิจัยจากห้องปฏิบัติการวิจัยฟิล์มบางเชิงแสง หน่วยวิจัยอุปกรณ์และระบบอัจฉริยะ ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ (เนคเทค) สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ (สวทช.) กระทรวงวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยี มีความชำนาญและประสบการณ์สูง ทั้งด้านการออกแบบฟิล์ม เทคนิคการเคลือบ และเทคนิคการวิเคราะห์สมบัติของฟิล์ม พร้อมที่จะให้ความร่วมมือด้านงานวิจัยและพัฒนาผลิตภัณฑ์ฟิล์มบางเชิงอุตสาหรรมให้กับภาคเอกชน เพื่อลดการพึ่งพาเทคโนโลยีจากต่างประเทศ ยกระดับความสามารถในการแข่งขัน และพร้อมที่จะมีส่วนร่วมพัฒนาบุคคลากรทางด้านฟิล์มบางให้กับ หน่วยงานของรัฐ และสถาบันการศึกษาต่างๆ

ผู้สนใจสามารถติดต่อ

คุณพีรนันท์ กาญจนาศรีสุนทร

ฝ่ายพัฒนาธุรกิจและถ่ายทอดเทคโนโลยี (BTT)

โทรศัพท์ 02-564-6900 ต่อ 2356

e-mail: peeranan.kanjanasrisuntorn@nectec.or.th

หมายเหตุ

หลักการทำงานของเครื่องโดยสังเขปของเครื่องเคลือบสุญญากาศแบบสปัตเตอร์ริง เริ่มต้นจากสร้างสภาวะสุญญกาศภายในห้องเคลือบ โดยการดูดมวลอากาศออกจากห้องเคลือบ ให้มีความดันเหลือไม่เกิน 1×10-6 มิลลิบาร์ แล้วจึงเติมแก๊ส อาร์กอน เข้าสู่ห้องเคลือบให้มีความดันพอเหมาะ แล้วจึงเริ่มการทำงานของหัวเคลือบ โดยสร้างไอออนของแก๊สอาร์กอนด้วยสนามแม่เหล็ก และสนามไฟฟ้า บังคับให้ไอออนพุ่งชนเป้าสารเคลือบ กระแทกจนอนุภาคของสารเคลือบที่ผิวของเป้ากระเด็นออกมาเคลือบบนผิวชิ้นงาน เกิดเป็นฟิล์มบางตามต้องการ

thin-film

วันที่เผยแพร่ 4 ตุลาคม 2559 11:57