MENU
Banner

ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์

ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (Thai Microelectronics Center : TMEC) เป็นหน่วยวิจัยภายใต้ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ ซึ่งมีเทคโนโลยีหลักคือกระบวนการผลิตเซนเซอร์และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์บนแผ่นซิลิกอน โดยมีทีมวิจัยหลัก 3 ทีม ซึ่งการจัดตั้งทีมแบ่งตามกิจกรรมหลักที่รับผิดชอบ ดังนี้

  1. ทีมวิจัยเชิงอุตสาหกรรมบนซิลิกอนเทคโนโลยี (SIFRT) ดูแลงานทางด้าน ระบบเครื่องกลไฟฟ้าจุลภาค (Micro Electro-Mechanical System) หรือ เมมส์ (MEMS) งานด้านการผลิตเซนเซอร์ทางเคมีและชีวภาพบนเทคโนโลยีแพลตฟอร์มอีสเฟต (ISFET Platform) และ งานบริการด้านการสร้างต้นแบบ (Wafer level Sensor Prototyping) และการผลิตขนาดเล็ก (Small Volume Production)
  2. ทีมวิจัยการออกแบบวิเคราะห์และประเมินผลการทำงานของอุปกรณ์จากกระบวนการผลิต (DSCRT) ทีมวิจัยนี้สนับสนุนการออกแบบอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ใหม่ที่ผลิตในทีเมค เพื่อให้เกิดผลิตภัณฑ์ ใหม่ รวมทั้ง พัฒนาเซนเซอร์และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ ผ่านการจำลองทางคณิตศาสตร์ รวมถึงการสนับสนุนการทดสอบอุปกรณ์ที่สร้างขึ้นเพื่อวัดคุณภาพของสินค้าที่ส่งมอบ
  3. ทีมวิจัยนวัตกรรมพื้นผิววัสดุและอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก (SMD-1RT) มีหน้าที่ในการผลักดันต้นแบบให้กลายเป็นผลิตภัณฑ์ โดยร่วมมือกับพันธมิตรภาครัฐและเอกชนทั้งในและต่างประเทศ โดย ณ ปัจจุบัน ทีมวิจัยมีเป้าหมายในการผลักดัน แลป ออน ดิสก์ สำหรับงานทางด้านการแพทย์ และฟิล์มไม่ชอบน้ำอย่างยิ่งยวด (Superhydrophobic) พื้นที่ขนาดใหญ่

วิสัยทัศน์

สร้างเทคโนโลยีและสนับสนุนให้เกิดอุตสาหกรรม ที่เกี่ยวข้องกับกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซนเซอร์ (Sensors) อุปกรณ์เมมส์ (MEMS) และ อุปกรณ์อื่นๆ ที่สามารถผลิตบนเทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ อย่างยั่งยืน

พันธกิจ

  1. วิจัย พัฒนา และผลิต อุปกรณ์เมมส์ (MEMS) (ทีมวิจัยที่ดูแล : SIFRT)
  2. วิจัย พัฒนา และผลิต แพลตฟอร์มสำหรับเซนเซอร์ทางเคมีและชีวภาพ (Bio- and Chemical Sensors) (ทีมวิจัยที่ดูแล : SIFRT)
  3. วิจัย และ พัฒนา อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และวงจรรวม (Integrated Circuits) ที่เกี่ยวข้องกับเซนเซอร์ขั้นสูง (Advanced Sensors) และ อุปกรณ์เมมส์ (MEMS) (ทีมวิจัยที่ดูแล : DSCRT)
  4. วิจัย พัฒนา และผลิต เทคโนโลยีพื้นผิว (Surface Technology) และอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก (Microfluidic Devices) (ทีมวิจัยที่ดูแล : SMD-1RT)
  5. ผลักดันให้เกิดสินค้านวัตกรรมที่เกิดจากการใช้เทคโนโลยีของทีเมคให้เป็นสินค้าถึงมือผู้ใช้งานได้ โดยสร้างความร่วมมือกับภาคเอกชน ภาครัฐ และหน่วยงานต่างๆ (TMEC)
  6. ส่งเสริมให้เกิดระบบนิเวศ (Ecosystem) ของเซนเซอร์ (`Sensors) ขั้นสูงและอุปกรณ์เมมส์ (MEMS)

เทคโนโลยีหลัก

  • กระบวนการผลิตในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
  • กระบวนการผลิตเซนเซนร์ด้วยเทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์
  • ระบบเครื่องกลไฟฟ้าขนาดจุลภาค หรือ เมมส์
  • เทคโนโลยีฐานไอออนเซนซิทิฟฟีลด์เอฟเฟคทรานซิสเตอร์ หรือ อีสเฟต
  • กระบวนการออกแบบ การสร้างแบบจำลองคณิตศาสตร์ และกระบวนการสร้างแม่แบบซิลิกอน และลอกแบบลวดลายจุลภาคด้วยเทคนิคซอล์ฟลิโธรกราฟี เพื่อสร้างนวัตกรรมบนพื้นผิววัสดุ
  • อุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก รวมถึงห้องปฏิบัติการย่อส่วนบนชิปและบนแผ่นดิสก์
  • การสร้างพื้นผิวน้ำและน้ำมันไม่เกาะแบบยิ่งยวด เพื่อให้เกิดคุณสมบัติป้องกันการเกาะของสิ่งมีชีวิตบนพื้นผิววัสดุ สำหรับการใช้งานในสภาวะแวดล้อมต่างๆ

ผลิตภัณฑ์

topic
  • ระบบเซ็นเซอร์เพื่อการเกษตร (เกษตรยุคใหม่) ปัจจุบันอุตสาหกรรมหลายๆ ด้าน มีการใช้อุปกรณ์ ระบบอิเล็กทรอนิกส์ และเซ็นเซอร์ต่างๆ มาช่วยทำให้การผลิตเกิดประสิทธิภาพและประสิทธิผลมากขึ้น รวมทั้งได้ใช้เซ็นเซอร์มาช่วยทำให้เกิดระบบอัจฉริยะที่สามารถประเมินผลและควบคุมตนเองได้ด้วยการส่งและรับข้อมูลต่างๆ จากทุกสิ่งที่เชื่อมต่อเข้าหากัน หรือ IOT (Internet Of Things) ซึ่ง TMEC ได้ร่วมพัฒนาและวิจัยเซ็นเซอร์ Ion Sensitive Field Effect Transistor (ISFET หรือ เซนเซอร์ที่ใช้วัดความเข้มข้นของไอออนของสารเคมี) Pressure Sensor (เซ็นเซอร์วัดความดัน) Humidity Sensor (เซ็นเซอร์วัดความชื้น) Solar Tracker Sensor (เซ็นเซอร์ตามหาแสงอาทิตย์) เป็นต้น
topic
  • หัววัดความชื้นในอากาศ (Humidity Sensor) Humidity Sensor ผลิตโดยเทคโนโลยี CMOS มาตรฐาน ที่สามารถผลิตได้เพียงแห่งเดียวในประเทศไทย โดยคุณสมบัติและคุณภาพของอุปกรณ์ที่ผลิตโดยเทคโนโลยี CMOS นี้ จะมีความทนทาน ความแม่นยำ และมีอายุการใช้งานที่ยาวนานกว่าอุปกรณ์ที่ใช้เทคโนโลยีที่ต่ำกว่า รวมถึงสามารถออกแบบอุปกรณ์ให้เหมาะสำหรับการใช้วัดค่าความชื้นสัมพัทธ์อากาศ หรือสามารถปรับใช้วัดค่าความชื้นแบบต่างๆ ได้ตามความต้องการของผู้ใช้งาน เหมาะสมกับสภาพการใช้งานในหลายๆรูปแบบในประเทศไทย
topic
  • Solar Tracker Sensor เป็นการนำ pnp โฟโตทรานซิสเตอร์มาต่อกันเป็นอาเรย์ โดยใช้ติดตั้งเข้ากับแผงโซล่าเซลล์ หรือระบบทำความร้อนจากแสงอาทิตย์ เพื่อปรับมุมของระบบเหล่านั้นให้ตั้งฉากกับดวงอาทิตย์ ซึ่งจะส่งผลให้ได้พลังงานเอาท์พุทสูงสุดอยู่เสมอ
topic
  • ISFET (Ion-Sensitive Field Effect Transistor) เป็นอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำสร้างขึ้นด้วยเทคโนโลยีกระบวนการผลิต CMOS โดยหลักการทำงานพื้นฐานอุปกรณ์ ISFET เมื่อต่อร่วมกับขั้วไฟฟ้าอ้างอิง Ag/AgCl จากภายนอก สามารถตรวจวัดปริมาณไฮโดรเจนไอออนหรือค่าพีเอชได้ทันที
topic
  • เซ็นเซอร์ตรวจวัดความดัน (Pressure Sensor) เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดความดันของก๊าซหรือเหลว โดยเซ็นเซอร์จะส่งสัญญาณทางไฟฟ้าที่มีความสัมพันธ์กับความดัน สำหรับเซนเซอร์ของ TMEC คือ รุ่น TMPSI เป็นเซนเซอร์ที่มีโครงสร้าง แบบ piezo-resistive micro-machine pressure sensor ซึ่งมีความแม่นยำสูง และการตอบสนองเป็นเชิงเส้นดี สามารถวัดระดับแรงดันได้ในช่วง 0-10 bars และ 0-15 bars

โจทย์วิจัย/ความท้าทาย

สร้างระบบนิเวศน์ของอุตสาหกรรมเทคโนโลยีในประเทศไทย โดยร่วมมือกับพันธมิตรในภาครัฐ และ เอกชน ทั้งภายใน และ ต่างประเทศ โดยสุดท้ายแล้วจะถ่ายทอดองค์ความรู้ทางด้านการ ผลิต พัฒนา และ วิจัย ให้กับ ผู้ประกอบการขนาดเล็กและขนาดกลางในประเทศ เพื่อให้เกิดห่วงโซ่มูลค่า โดยอาศัยการทำงานและผลักดันผ่านเทคโนโลยีด้านล่างนี้

  • Pre-production ของ อุปกรณ์เมมส์ (MEMS) อันได้แก่ Si Microphones และ Si MEMS Gyroscope และต้นแบบอื่นๆ ตาม `Roadmap และความสามารถของทีเมค (ทีมวิจัยที่ดูแล : SIFRT)
  • ISFET based Chemical and Bio-sensor Array Platform ที่สามารถรองรับ Sensing Membranes ต่างๆ เพื่อตอบโจทย์อุตสาหกรรม (ทีมวิจัยที่ดูแล : SIFRT)
  • ISFET based Handheld Device Production ที่ได้รับการใช้งานในอุตสาหกรรมเกษตร สิ่งแวดล้อมและการแพทย์ (ทีมวิจัยที่ดูแล : SIFRT)
  • Microfluidic Device Platform เพื่อตอบโจทย์การตรวจสอบการติดพยาธิเท้าช้างในเลือดสำหรับแรงงานจากพม่า ได้ตามความต้องการของโรงพยาบาลที่ต้องตรวจเลือดจำนวนมาก (ทีมวิจัยที่ดูแล : SMD-1RT)
  • ต้นแบบสำหรับสร้างลวดลายจุลภาคบนพื้นผิวขนาดใหญ่ (Large-area Patterning) (ทีมวิจัยที่ดูแล : SMD-1RT)
  • โครงการพัฒนาบุคลากรสำหรับอุตสาหกรรมการออกแบบวงจรรวม (ทีมวิจัยที่ดูแล : DSCRT)

ทีมวิจัยภายใต้สังกัด

ติดต่อ

ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์
51/4 หมู่ 1 ตำบลวังตะเคียน
อำเภอเมือง จังหวัดฉะเชิงเทรา 24000
อีเมล : info-tmec[at]nectec.or.th
โทรศัพท์ : +66 (0)38-857-100 ต่อ 0
http://tmec.nectec.or.th
tmec

วันที่เผยแพร่ 1 มีนาคม 2562 07:00